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三浦工業、ガスボイラ効率99%達成 3タイプ順次投入 (2024/12/12 機械・ロボット・航空機1)

三浦工業はガス焚き小型貫流蒸気ボイラ「SQ―AS型」をモデルチェンジし、2025年3月以降順次投入する。... ガス流量を調整し、排ガスO2を一定に制御することで、空気量はそのまま...

JAL、宇宙へ前進 月着陸船の重要部品製作 (2024/9/23 生活インフラ・医療・くらし)

アルゴンガス流量が多いと配管が膨らみ、足りないと酸化する。ガスの圧力制御も重要だった」(JALエンジの東峯誠氏)。

試作機は医療機器の水素吸入に適した小型の超音波ガス濃度計。超音波を用いて水素のほか酸素、窒素など複数種類のガス濃度の計測が可能な独自の仕組みを採用した。... 現在、1分間当たり3リットルのガス流量で...

ノーリツ、水素100%で家庭用給湯器 25年以降に投入 (2023/12/18 生活インフラ・医療・くらし)

水素社会への移行期に当たり、ガス流量調整部品とソフトウエアの切り替えで、従来の都市ガスと水素の切り替えができるようにした。

大量の実験データをAIが理解できる形で蓄積する必要があるなど課題はあるが、実現できれば半導体製造装置のレシピ(ガス流量や温度、圧力の最適な組み合わせ)や材料の開発効率を高めることができ...

マスフローコントローラー(MFC)はガスや液体の流量を制御する機器で、半導体製造プロセスでは欠かせない存在だ。... 自動車事業の排ガス計測に使っていた技術を、チャンバー内のガス計測で...

コフロック、半導体製造向け制御機器 腐食ガス流量安定化 (2023/12/5 機械・ロボット・航空機1)

半導体製造のエッチング加工をはじめ、腐食性ガスを使う装置やラインに適する。装置に複数あるチャンバーへのガス供給で圧力変動が生じた時に過敏反応し、瞬間的に流量が乱れる課題を解消でき、生産の安定化を実現す...

VACUUM2023真空展/紙上プレビュー(1) (2023/10/25 機械・ロボット・航空機1)

【フジキン/ガス流量デジタル制御機器】 フジキン(大阪市北区)は、ガスの流量制御機器「FCS―T1000F=写真」を出展する。設...

堀場エステック、半導体関連で新棟 次世代技術の開発強化 (2023/9/21 機械・ロボット・航空機1)

13年に開設した同拠点を拡張し、コア技術であるガス流量制御や液体気化技術の高度化、次世代技術の強化を図る。

AGC、ガラス溶解工程を効率化 デジタルツイン技術活用 (2023/1/24 素材・医療・ヘルスケア2)

高温のため内部の状態を詳細に把握することが難しく、ガス流量や電力の調整など生産条件の検討にシミュレーション技術を活用している。

独自のトーチ構造で高速気流を作り出し、TIG(タングステン不活性ガス)溶接よりエネルギー密度の高いアークを実現。... 開発したシステムはコスト抑制のため既存のTIG溶接電源に独自トー...

堀場製作所、半導体の生産性に貢献 新製品3種 (2021/12/16 機械・ロボット・航空機1)

半導体関連事業で主力の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)で従来品比8倍の超高速応答の新製品を、露光工程向けで高精度なレティクル・マスク異物検査装置の新製品を...

受賞部品(総合1参照) 超モノづくり部品大賞 ◇燃料電池電極触媒キャタラー &#...

日本精機、AM金型を品質保証 (2021/10/5 機械・ロボット・航空機1)

装置の「品質管理用画像解析システム」は、材料のメルトプール(溶融池)放射のリアルタイムモニタリングやレーザー制御、不活化ガス中の酸素濃度やガス流量の管理、解析を行う。 ...

一方、半導体関連事業は現在、製造装置向けマスフローコントローラー(ガス流量制御機器)と薬液濃度モニターが中心。

【京都】堀場製作所は6月をめどに、韓国グループ会社の半導体製造装置向けマスフローコントローラー(MFC、ガス流量制御機器)の生産能力を現状比で約2倍に高める。

フジキン、ベトナムに研究開発拠点 22年4月開設 (2020/10/27 機械・ロボット・航空機1)

フジキンは同国で02年にハノイ市、13年にバクニン省に工場を設け、半導体製造装置用精密バルブ・ガス流量制御機器の部品を生産している。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(1) (2020/10/14 機械・航空機1)

フジキン/流量制御、センサー・圧力2方式 フジキン(大阪市北区、06・6372・7141)は、流量制御機器として、マスフローコントローラーと呼ぶ熱式流量セン...

ガス流量制御機器「マスフローコントローラー(MFC)」の土台になる部品なども20年中に月産数を3300個と従来比6・6倍に増やす。

開発の舞台裏 中小企業優秀新技術・新製品賞(11)優秀賞 (2020/6/9 中小・ベンチャー・中小政策)

矢部川電気工業 水素ポンプセルによる水素燃料ガス計測装置 燃料電池自動車(FCV)に供給する水素燃料ガスは、国際規格「ISO14687―2...

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