記事検索結果

深層断面/半導体装置、オープンイノベに挑戦（2024/5/16 深層断面）

コータ・デベロッパ(塗布現像)や洗浄など日本勢が首位の装置も多いが、市場規模は最大で60億ドル(約9000億円)。

産業TREND/日本製造2030(7)新冷戦時代の半導体輸出規制（2023/4/26 産業TREND）

日本企業がほぼ独占している例を挙げると、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像するコータ・デベロッパは東京エレクトロン(TEL)が世界の90%、走査型電子顕微鏡(SEM&#...

東京エレク、宮城に開発棟 470億円投じ半導体微細・積層化対応（2022/5/13 総合４）

ロジック半導体などで最先端から成熟世代まで幅広く需要が拡大し、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像するコータ・デベロッパなど主力製品の販売が好調だった。

東エレク、熊本に半導体装置の新開発施設 300億円投資（2022/4/1 総合３）

主に、塗布現像装置「コータ・デベロッパ」、洗浄装置「サーフェスプレパレーション」などの半導体製造装置の開発を手がける。

深層断面/インテル、盟主の輝き再び（2021/3/29 深層断面）

東京エレクトロンは、EUV向けコータ・デベロッパ(塗布現像装置)でシェア100%。

日本、EUV関連で存在感先端半導体に不可欠（2021/1/7 総合３）

東京エレクトロンは、EUV向けコータ・デベロッパ(塗布現像装置)でシェア100%。

活況!半導体製造装置(1)東京エレクトロン社長・河合利樹氏（2020/12/3 電機・電子部品・情報・通信１）

一方、コータ・デベロッパ(塗布現像装置)は極端紫外線(EUV)に対応した装置が必要となるなど、付加価値が高まっている」 ―米中貿易摩擦がもたらす影響を...

ニコンはコータ・デベロッパ(感光剤の塗布・現像)や計測といった露光前後の工程の大手装置メーカーを対象に連携交渉を始めた。

東エレ、熊本・合志事業所に蘭製の液浸露光装置を導入（2009/6/11）

子会社の東京エレクトロン九州の合志事業所では、半導体のコータ/デベロッパ(塗布現像装置)の研究開発・製造などを行っており、現在はASMLのArFドライ露光装置を設置している。