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ギガフォトン、世界最大級出力のKrFレーザー（2019/2/27 電機・電子部品・情報・通信２）

従来機種同様、ヘリウムフリーは標準搭載、hTGM(ネオンガスリサイクルシステム)はオプションとなっている。

大陽日酸、大容量ターボ冷凍機納入韓国の超電導ケーブル導入プロに（2019/2/21 素材・ヘルスケア・環境）

大陽日酸が納入したのはターボブレイトン冷凍機「ネオケルビンターボ10キロワット」で、ネオンガスが断熱圧縮や等圧冷却などの過程を経ることで、極低温を生成する仕組みだ。

前川製作所、極低温冷凍機の受注開始最低温度帯マイナス220度C （2018/6/20 機械・航空機１）

前川製作所(東京都江東区、前川真社長、03・3642・8181)は、ネオンガス冷媒のターボ圧縮機と膨張機を使用した極低温冷凍機「ブレイトンネオ=写真」の受注生産を開始...

大陽日酸、ターボ・ブレイトン冷凍機モスクワ市電力公社に納入（2017/8/7 素材・ヘルスケア・環境）

ネオンガスを冷媒とし、SFCLの運転に必要なマイナス200度Cの極低温環境を維持するのに用いる。

ギガフォトン、新ロードマップ発表（2016/7/11 機械・ロボット・航空機２）

同社はすでに、ヘリウムガスやネオンガスの消費量を大幅に削減する技術や、レーザー性能を維持しながら消費電力を削減する技術を業界に提供してきた。今回、ネオンガスのリサイクルシステムや、ヘリウムを窒素に置き...

ギガフォトン、半導体製造用ネオンガス−リサイクルシステムを開発（2016/2/26 機械・航空機２）

ギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、半導体露光用エキシマレーザー向けのネオンガスリサイクルシステム「hTGM」を開発し、フィールド評価を開始した。&#...

ギガフォトン、ガス消費量削減技術を無償提供（2014/11/27）

半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市)は、同社のArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM」を期限付きで無償提供する。 ...

産総研、常温接合プロセス開発−ウエハーのひずみ低減（2013/9/3）

平滑化にはネオンガスを高速原子ビームに使った。シリコン表面を2乗平均平方根(rms)粗さ0・4ナノメートル(ナノは10億分の1)まで荒らしてからネオン高速原子ビームを照...

今回、機械式のGM冷凍機でネオンガスを冷やし、凝縮させて液化した液体ネオン(27K)を冷媒に用いた。

理研、高効率の軟X線光源を開発−生体用顕微鏡に活用へ（2009/1/12）

理化学研究所は、赤外域の超短時間パルスレーザー光をネオンガスに照射し、従来の100倍以上の効率で軟X線レーザー光に変換する手法を確立した。

安価で使いやすい従来のヘリウムガスに替え、質量が重く冷凍能力の高いネオンガスを冷媒に採用。毎分10万回転で動く直径25ミリメートルのネオンガス用タービン(写真)を開発し、マイナス200...