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大真空、温度センサー内蔵水晶振動子を開発スマホの小型・薄型化対応（2018/12/11 電機・電子部品・情報・通信２）

水晶片は感光性の薬品を塗布し、光を照射し表面を変質させるフォトリソグラフィー法を用いた。

大阪府大と産総研、Q値が世界最高水準150万の光ナノ共振器の大量作製に成功（2016/3/17 科学技術・大学）

工業生産に適したフォトリソグラフィー法を使って、従来比100万倍のスピードで作る。... 今回、電子線リソグラフィーより生産性が高く、半導体製造で一般的なフォトリソグラフィー法を採用。最先端のフッ化ア...

勝つ/マイクロ・テック(4)大波乗りこなす（2013/1/18）

スクリーン印刷はフォトリソグラフィー法に比べ最小線幅や精度に劣ると言われてきたが、技術革新が壁を打ち破ろうとしている。

スクリーン印刷は、微細回路形成で主流のフォトリソグラフィー法に比べて低コストで破棄材料も少ないが、狭ピッチ化が課題だった。

産総研のR&D(12)色を制御できる材料で新たな省エネ技術を（2010/1/18）

これらの薄膜はスピンコート法などの簡便な塗布法で得られ、パターニングにはインクジェット印刷やフォトリソグラフィー法などを利用できる。

パナソニックファクトリー、太陽電池製造装置に参入（2009/1/28）

ライン幅、間隔30マイクロメートル以下の回路形成で用いられるフォトリソグラフィー法の設備に比べて工程数が少なく、設備コストが半分以下で済むという。

ウレタンゴムのへらでペーストをかき下ろす従来法のアスペクト比は1対0・3だった。 ... 価格は従来の高細線回路形成に用いられていたフォトリソグラフィー法設備の約4分の1の数千万円に抑えられる...