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住重、SiC半導体向け装置を来年投入アニール処理能力4倍（2024/12/10 総合１）

レーザーアニール装置はウエハーに不純物イオンを打ち込んだ後、レーザーをウエハーに照射し結晶性を回復させるのに用いる。 ... 同装置の事業部門と、イオン注入装置を手がける子会社の住友...

ニュース拡大鏡/住重、パワー半導体攻勢製造装置、子会社に統合（2024/12/6 電機・電子部品・情報・通信）

(小林健人) 「イオン注入とレーザーアニール。... 住友重機械イオンテクノロジーが手がけるイオン注入装置はウエハーにリンやボロンといった不純物イ...

住重系、イオン注入装置を来年投入 SiCパワー半導体向け（2024/5/15 総合１）

住友重機械イオンテクノロジー(東京都品川区、月原光国社長)は、2025年にも炭化ケイ素(SiC)パワー半導体向けのイオン注入装置を市場に投入する。....

新日本電工、メッキ廃液再利用イオン交換無機結晶を活用（2023/9/21 素材・建設・環境・エネルギー２）

新日本電工は2025年度にも、イオン交換無機結晶を活用する新たな水処理循環装置を実用化する。... 同社の青木泰社長は「イオン交換無機結晶を使う装置の開発で、水循環の活用範囲を広げたい」と話す。...

東陽テクニカ、液晶物性を高精度測定評価システム発売（2022/1/13 機械・ロボット・航空機１）

不純物イオン検知の測定周波数範囲を従来の0・01ヘルツまでから0・001ヘルツまでと大幅に拡大、微小な電流ピークを検出できる。

有機EL材料の不純物、高速・高精度で解析東陽テクニカが測定システム（2018/5/31 機械・ロボット・航空機１）

東陽テクニカは有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)やスマートウインドー向けの材料を高速・高精度に解析できる不純物イオン測定システム「LT1000=写真」を開発した。同社の液晶...

東京応化、旧世代レジスト拡販−3Dメモリー向け（2014/11/21）

イオン注入工程など回路形成以外での使用が増えており、2015年度は前年度比3割増の売り上げを見込む。... 一方、半導体の微細化に伴い、KrFレジストがシリコンウエハーに不純物イオンを注入する工程に使...

極地研、夏場の日射が影響−積雪の氷への変化速度（2014/10/10）

積雪が氷へと変化する速度に影響する要因として、夏の日射による初期変態と、フッ化物イオンや塩化物イオンなどの不純物が高濃度で含まれていることを示した。 ... 今回、それぞれ層の誘電率...

【さいたま】伸栄化学産業(埼玉県三郷市、鈴木厚生社長、048・953・1616)は、3価クロムによる化成被膜処理液から金属不純物イオンを取り除く「高分子金属錯体装置」を開発した。......

【京都】日新イオン機器(京都市南区、長井宣夫社長、075・922・4611)は、イオンの集合体(クラスターイオン)を利用するイオン注入装置「クラリス=写真」を開...

半導体製造工程では、シリコンウエハーに導電性を持たすため、リンやボロンなどの不純物イオンを打ち込む。この打ち込み後のイオン活性化処理には、1000度C以上の温度が必要。... イオン活性化処理にとどま...