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設計・開発フロンティア/菅製作所−卓上型ALD装置 （2017/1/24 モノづくり）
菅製作所(北海道北斗市、菅育正社長、050・3734・0730)は、主に大学や研究機関向けスパッタ装置や真空装置などの研究開発支援機器に力を入れる。... 11年に北海道大学量子集積エ...
菅製作所、卓上型原子層堆積装置を投入−粉体に成膜加工 （2016/12/5 機械・ロボット・航空機１）
菅製作所(北海道北斗市、菅育正社長、050・3734・0730)は、粉体に成膜加工できる装置などを卓上型原子層堆積(ALD)装置「SAL1000シリーズ」として発売した...
北大、化合物半導体のナノワイヤトランジスタを開発 （2012/8/2）
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センターの冨岡克広研究員(科学技術振興機構〈JST〉研究員)らは、シリコンを基板とした立体構造の化合物半導体によるナノワイヤ(NW)...
