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記事検索結果
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同ルームは電子線描画装置、原子膜堆積(ALD)装置など半導体製造に必要な各種設備をそろえる。そうした中で、実習では90年代に普及した各種装置も活用している。
電顕は電子線を磁場で曲げて結像させる。... 電顕は電子線描画装置と技術が近く、半導体の開発から製造、品質管理までを支える基盤技術の一つだ。... 電子線は原子の電場と磁場でわずかに曲がる。
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、七野実社長、042・626・0612)は、同社従来製品比4倍となる走査速度400メガヘルツ(メガは100万)を実現した電子ビーム描...
これにより、電子線描画装置や電子顕微鏡、X線検査装置の高度化に寄与できる。 電子銃は、1970年代ごろに開発された電子放射源「LaB6」が主流で、LaB6を1600度Cに加熱すること...
5階建ての棟内には、クリーンルームや8ナノメートル(ナノは10億分の1)幅のパターンを形成できる電子線描画装置(写真)といった最先端の研究機材を備える。... 1―2階...
高い精密加工技術を持つ東成エレクトロビーム(東京都瑞穂町)や電子線描画装置のエリオニクス(東京都八王子市)ら、先進経営で知られる中小企業27社が参加。
結果、日本経済の方向性について市場からマイナス評価を受けやすくなる」 SOBAプロジェクト・乾和志社長(京都市下京区、インターネットテレビ会議システムなど...
円高定着などを受け、主力の電子線描画装置の競争力アップが課題。... 営業では国内でイオン関連装置などを拡販。... (西東京支局長・神谷信隆) 【略歴】70年...
【エリオニクス】岡林徹行氏(おかばやし・てつゆき)70年(昭45)高知工業高専卒、同年日本電子入社。... ▽牧内昌幸社長は特別顧問に▽交代理由=製品開発力の強...
経済産業省時代から中小企業支援に取り組んできた高橋伸一郎氏(信州大学特任教授)を代表幹事として、電子線描画装置のエリオニクス(東京都八王子市)の本目精吾会長や、高い精密...
02年度から11年度まで5年単位で進めてきたナノテク事業を発展させ、三つの研究基盤を対象に装置と情報を共有化して、研究者らに最先端設備の利用機会を促す体制にする。 三つの研究基盤は「...
研究室で使う電子線描画装置(EBL)は、真空下で暖めて安定した電子線を出し、微細パターンを描く装置だ。重要な先端部、熱電界放出型の電子銃は1800度Cになり、急激な温度変化が厳禁だ。停...
小惑星探査機「はやぶさ」のカプセルから微粒子を回収する装置などこれまで手がけた装置は約40。... 機械要素は他の装置での経験が生かせる。... 電子線描画装置や電子顕微鏡などの組立・調整作業で腕を振...
クレステックは東北大学などと共同で、高精細な電子線描画技術を応用した半導体製造用露光装置の開発を目指す。 電子線径2ナノメートル、最小線幅8ナノメートルの描画技術を持つクレステックは、研究開発...
ナノインプリントの金型製作には高額な電子線描画装置が必要。成型装置も普及機でも1000万円からと高額で、基礎研究のために装置を導入できる企業は少ない。... このため、技術者5人の専門部隊を設置し、製...
エリオニクス(東京都八王子市、本目精吾社長、042・626・0611)が07年に発売した超高精度電子線描画装置「ELS―7100AL」の商談が盛り上がりを見せている。高い加速電圧によっ...
