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次世代半導体デバイスの小型化・大容量化に向け3次元積層技術の共同開発を進める。 ... 半導体デバイスメーカーをはじめ、装置・材料メーカーなども参加する。企業間の協力体制を構築し、次世代半導体...
半導体製造工程では、シリコンウエハーに導電性を持たすため、リンやボロンなどの不純物イオンを打ち込む。... だが、回路線幅65ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の半導体デバイスは、...
近年はトランジスタやダイオードなど新たな半導体デバイス材料としても注目を浴びている。... 【相乗効果も】 一方、半導体デバイス材料への用途展開に向けた研究も進んでいる。 ... これ...
【川崎】東京応化工業は半導体先端テクノロジーズ(茨城県つくば市)と共同で、回路線幅(ハーフピッチ)が22ナノメートル(ナノは10億分の1)世代以降の次世...