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記事検索結果
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1台80億円程度とされる、光源に極紫外線(EUV)を使う次世代露光装置の導入などで製造コスト高が懸念されるが「直径450ミリメートルウエハーへの移行などで対応をしていきたい」(...
現在、High―K/メタルゲート技術を採用しているのはパソコン用超小型演算処理装置(MPU)で圧倒的首位の米インテルなどにとどまる。... 22日にはオランダ・ASMLから光...
東芝と産業技術総合研究所は15日、LSI製造時に使う液浸フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー露光装置の性能を高める技術を共同開発したと発表した。... 同装置は従来、30ナノメート...
【熊本】西日本エレクトロニクス工業(熊本市、大澤宏一社長、096・384・3831)は、露光装置を利用してベース素材にニッケルメッキを積層した後、工具を使わず中央部に微小な穴をあける技...
【横浜】神奈川大学の西久保忠臣教授はEUV(極端紫外線)露光装置向けの低分子フォトレジストを完成、22ナノメートル(ナノは10億分の1)の回路パターンを作成することに成...
ニコンは露光装置などを扱う精機カンパニーの国内パーツセンター2拠点に無線識別(RFID)システムを導入した。... 精機カンパニーでは半導体露光装置や液晶露光装置を取り扱っている。
光学技研(神奈川県厚木市、岡田幸勝社長、046・224・2555)は、レーザー加工装置や通信機器向け光学部品の製造が主力。... 露光装置で必要となるビームの偏光解析に用いる素子で、光...
宇都宮大の地域共生研究開発センターやオプティクス教育研究センターなどに光干渉計測装置や表面X線回折装置など高度な設備を導入。... 県内にはキヤノンを筆頭にニコンなど半導体露光装置などを手がける企業が...
パネルへの感光を避けるために黄色く照らされたクリーンルームの中、ガラス基板に薄膜トランジスタ(TFT)回路を焼き付ける巨大な露光装置が収まっている。見学用通路から眺めると、奥の方まで露...
露光技術と組み合わせることで実現した。... 紫外線硬化性のレジスト剤を用い露光機で加工パターンを転写する。独自技術の採用により最小線幅10マイクロメートルでパターニングができるようにした露光装置を用...
フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)ドライ露光装置の性能を引き出したことで、最先端のArF液浸露光装置を追加しなくてもチップ取得数を増やせる。... 一方、国際半導体製造装置材料協...
ダイボンダーはチップをリードフレームに固定接着する装置で半導体製造の後工程(組み立て)の主要装置だ。 ... 半導体製造装置出荷額の7割以上は前工程の装置が占める。... これ...
今後、半導体露光装置の事業拠点に液晶関係担当者を配置し、10年度から供給を始める。液晶露光装置はガラス基板に回路パターンを露光する中核技術。... 同社は中国での露光装置の需要増を織り込み、10年の液...
ニコンは回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の半導体製造プロセスに採用するフッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸露光装置の新機種「S620」の出荷を...
精機部門が液晶露光装置の販売計画が8月予想より3台増えたが、半導体露光装置は顧客の投資延期により同3台下方修正した。... 09年4―9月期の半導体露光装置の棚卸し廃棄評価減が約300億円の営業減益要...
