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記事検索結果
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オムロンは360度方向の風量を計測できる「微小電気機械システム(MEMS)フローセンサユニット」を完成した。... ユニットには1・55ミリメートル角のMEMS気流センサー素子のほか温...
電気学会センサ・マイクロマシン部門 14、15日の両日、第27回「センサ・マイクロマシンと応用」シンポジウムをくにびきメッセ(松江市)で開く。同シンポはセンサー・微小電気機械シ...
【神戸】日本電子材料は兵庫県尼崎市の旧本社工場への移設作業を進めていた、微小電気機械システム(MEMS)製造ラインを完成し、本格稼働を始めた。... 同社は半導体検査用プローブカード製...
現在プローブを微小電気機械システム(MEMS)技術で作成しているが、これをプレスで製造しプローブの単価を1円以下に引き下げる方針。
搭載物が多い微小電気機械システム(MEMS)などに適しており、基板の微細化・複雑化ニーズに対応する。... MEMSなどで精密洗浄ニーズが強まっていることを受けて対応機を開発した。&#...
みずほ情報総研は1日から、半導体や微小電気機械システム(MEMS)などの製造時に使うプラズマプロセスにおいて、基板表面の状態を詳細に観察できる解析サービスを開始する。... 将来は、プ...
アルプス電気は製法などを見直し、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いたピエゾ式の小型圧力センサーの生産性を大幅に改善する。... ピエゾ抵抗式のセンサーは外部の圧力で生じた膜&#...
三菱ガス化学と産業技術総合研究所は14日、微小電気機械システム(MEMS)技術を使い、安全で高効率に過酸化水素を合成できるチップサイズの装置を開発した。... 今回、触媒を詰めたマイク...
炭素系微小材料のカーボンナノチューブ(CNT)などの材料系の研究がよく知られるが、界面やひずみの制御、ナノ機械の実現など、最先端ではさまざまな研究が行われている。... 石原教授らは、...
【仙台】産学官組織のMEMSパークコンソーシアム(江刺正喜代表=東北大学教授)は、微小電気機械システム(MEMS)を応用したアプリケーションのアイデアを競う「第...
クリーンルーム内で露光装置などを用いて荷重センサーを試作し、微小電気機械システム(MEMS)加工についての理解を深める。
大日本印刷は微小電気機械システム(MEMS)で、厚さ1ミリメートルと従来より20%程度薄型化した3軸加速度センサーを開発した。... 制御ICとMEMSチップを従来の平置きから...
NEC SCHOTTコンポーネンツ(滋賀県甲賀市、ラウパッハ―スミヤ・ヨーク社長、0748・63・6610)は、微小電気機械システム(MEMS)用8インチの極細...
