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記事検索結果
110件中、2ページ目 21〜40件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.002秒)
ロードポートに加え、ウエハー搬送ロボットを組み合わせた複合モジュール「EFEM」などの半導体関連機器も強化する。 ... 25年度にクリーン搬送機器の生産能力(額)を...
搬送容器からのウエハーの出し入れを大幅に効率化できる。... 発売した搬送ロボット「KHR=写真」はハンド部を、ウエハーを保持するための25段構造とした。... 25枚は、FOUPやFOSBと...
ダイヘンの櫛田敏和クリーンロボット事業部企画部課長は2019年、半導体製造の真空装置に組み込む新しいウエハー搬送ロボットの企画をまとめた。... (編集委員・広瀬友彦) ...
本賞 ダイヘン/真空環境用ウエハ高速搬送ロボット 「UT―VDW3000」 真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー...
ダイヘンは真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した半導体ウエハー搬送ロボット「UT―VDW3000」を開発、受注を始めた。... 真空下では吸引式でウエハーを把持できず、ロボ...
アテルは広島県福山市に本社を置く半導体ウエハー搬送ロボットメーカー。... 他にも金属類を貼り付けたために、反ったり、たわんだりしたウエハーや、炭化ケイ素(SiC)...
【福山】ローツェは3日、ベトナムで半導体ウエハー搬送ロボットを増産すると発表した。... 搬送ロボなど半導体製造装置に組み込む「単体製品」の生産能力を倍増させる。... 新工場には、搬送ロボやウエハー...
【半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR−GEKKO MD124D】ギアレスで超低振動に 半導体ウエハー搬送ロボット「SEMISTAR−GEKKO...
切り粉搬送能力を毎時0.53立方メートルと2倍にし清掃の負担も低減した。 ... 【安川電機/半導体ウエハ搬送用クリーンロボット SEMISTAR―GEKK...
中外炉工業は、ウエハーやガラス、樹脂など各種基板への塗工液の塗布装置を開発した。... 中外炉工業はウエハー塗布装置「RSコータ」を8月上旬に発売する。... 価格は仕様により異なるが本体とウエハー搬...
EV・5G向けで商機 広島県福山市近郊には半導体ウエハー搬送ロボットの有力メーカーがいくつか存在する。... 今はアテル(広島県福山市、084・971・7...
安川電機は28日、半導体ウエハー搬送用のクリーンロボット「セミスター―ゲッコーMD124D=写真」とクリーンロボット用標準コントローラー「SR200」を発売したと発表した。... 半導体ウエハ...
計測精度のほか、ウエハー上に形成された半導体の微細な回路パターンの寸法を計測するスピードを速めた。電子線スキャンシステムやウエハー搬送システムの機能を向上し、1時間当たりの処理枚数を同20%増...
ウエハーを支持するサセプターやウエハー搬送用のエンドエフェクター、ガスを噴射するシャワーヘッドなどの部品として提案する。
中でも組み立てや搬送系ロボットの大幅な伸びがけん引するとの見通しを示した。 ... 用途別では組み立てや搬送系のロボットが、18年にスマホ関連の需要減少、米中貿易摩擦による設備投資抑...
ディスコは、回転速度の変動が小さい加工軸を搭載し、従来機に比べてウエハー面内の加工のバラつきを33%低減した半導体ウエハー研削装置「DFG8640=写真」を発売した。... 半導体ウエ...
