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日立ハイテクノロジーズ、５nm世代向け半導体計測装置 測長再現精度20％向上
(2019/12/17 05:00)
日立ハイテクノロジーズは、５ナノメートル（ナノは１０億分の１）世代半導体デバイスの量産に対応した計測...
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(2019/12/17 05:00)
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