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銅配線の回路を形成する場合、まずレジストを基板上に転写し、露光、現像を施した後、エッチング液で不要な銅を取り除く。その際、基板上に残る銅配線はエッチング液による横方向からの圧力を受け、上部が余分に削ら...

▽奥野製薬工業=酸性過マンガン酸エッチング液による環境調和型ABS樹脂メッキプロセス▽田中(大阪市住吉区)=プラズマ表面硬化処理を施したステンレス鋼製ネジ部品▽弘陽工業...

【前橋】林純薬工業(大阪市中央区、入江正克社長、06・6910・7336)と三洋半導体製造(新潟県小千谷市、坂東淳史社長、0258・83・3434)は、アルミニウム配線...

一方、クロム酸などのエッチング液が不要のため、環境への負担が小さくなる上、時間・資金の両面から作業コストを抑えられる。

半面、アルカリ、酸とも反応する両性元素でエッチング液に反応しやすいなど課題がある。... しかし、いずれの課題も、酸化亜鉛に適合したエッチング液を三菱ガス化学など、1メートル角以上の量産装置を住友重機...

【神戸】大阪大学大学院工学研究科付属超精密科学研究センターの山村和也准教授は数値制御ローカルウェットエッチング(NC―LWE)法による超精密非接触表面加工システム(写真)...

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