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モノづくりのアイデア競う−富士機械、学生集めコンテスト（2013/10/3）

自身の研究分野であるプラズマエッチング技術に富士機械の電子部品実装技術や画像処理技術をうまく融合させた点や、チャレンジ性の高さが評価された。

探訪・先端研究/プラズマ−作用メカニズム解析（2013/7/12）

プラズマは気体中で分子が電離した状態。... 特にプラズマ計測技術は世界トップレベルでプラズマエッチング中のイオン、ラジカル(遊離基)、光の各粒子がもたらす表面反応を一瞬で解析できる手...

モノづくり日本会議と本社、超モノづくり部品大賞に東芝選出（2012/10/30）

【超モノづくり部品大賞】 ◇「ecoチップ」東芝【モノづくり日本会議共同議長賞】 ◇「自動車エンジン冷却用ラジエー...

東北大、バイオとナノ技術融合−高密度量子ドット開発（2012/8/20）

現在の露光技術とプラズマエッチングによる加工技術ではナノメールクラスの加工は難しく、量子ドットの表面に欠陥ができ、発光効率もきわめて低い。

【水戸】三友製作所(茨城県常陸太田市、加藤木克也社長、0294・72・2245)は、産業技術総合研究所と共同で、半導体不良解析用に卓上型のプラズマエッチング装置を開発した。プラズマ状態...

日立ハイテク、日立国際電気と協業−アッシング装置開発へ（2009/12/18）

日立ハイテクが強みとするプラズマエッチング装置と組み合わせて販売する計画。... 日立ハイテクのエッチング装置と一体化させ、占有床面積を抑制する考え。日立ハイテクは今後、プロセス製造装置事業ではプラズ...

京大、3次元フォトユニット結晶の簡易作製法を開発（2009/8/10）

半導体微細加工のプラズマエッチング技術を使い、半導体ウエハーに2回、斜めの方向から細孔を開けることで完成する。... これと同様の構造を簡易につくるため、プラズマエッチング技術に着目した。

ナノテクの主役交代へ−CNTからグラフェンに（2009/5/26）

米スタンフォード大学も、部分的にポリマーに埋め込まれたCNTをプラズマエッチングで切り開き、グラフェンのリボンを作ることに成功。

日立ハイテクノロジーズは08年中にも、次世代半導体製造用のエッチング装置を出荷する。... 出荷するのはプラズマエッチング装置。... 回路線幅を32ナノメートルまで微細化すると、エッチングする段差や...

PFSC、プラズマでウエハー切断するダイシング装置を事業化（2008/7/4）

パナソニックファクトリーソリューションズ(PFSC、大阪府門真市、武本義郎社長、06・6905・5535)は、六フッ化硫黄ガスのプラズマでウエハーをチップに切断するダイシング装置の事業...