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23件中、2ページ目 21〜23件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.004秒)
兵庫県立大、「ニュースバル」にEUV露光レジスト評価の実験施設を設置 （2008/7/25）
アンジュレーター(光源)から干渉性の高い光を取り出し、回折格子を通した光の干渉を利用して露光する「干渉露光法」を用いてレジストを評価する。... 新規レジストは骨格樹脂に感光性材料を合...
兵庫県大と赤穂化成、半導体回路向けレジスト材料開発でVB設立 （2008/3/12）
【神戸】兵庫県立大学と赤穂化成(兵庫県赤穂市)は11日、大学発のベンチャー企業として半導体の回路パターン作成などに用いる新規レジスト材料の開発・製造を行う、イーユーブイアドバンストテク...
