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記事検索結果
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オランダのASMLは18日、次世代半導体の回路微細化の製造技術として注目を集めるEUV(極紫外線)を活用した露光量産機の受注台数が11台になったと発表した。... 12年下期に量産初号...
ユメックスは1992年の創業で、プリント基板やプラズマ・ディスプレー・パネル(PDP)露光用の超高圧水銀ランプをはじめ、各種産業用のランプを手がけている。... 05年には兵庫県立大学...
露光装置首位のオランダのASMLは10年にEUV露光装置の試作量産機、12年に量産機を出荷する計画。露光機メーカー2強の選択の違いが鮮明になってきた。 ... また、木村社長は、ArF液浸方式...
露光技術と組み合わせることで実現した。... 紫外線硬化性のレジスト剤を用い露光機で加工パターンを転写する。独自技術の採用により最小線幅10マイクロメートルでパターニングができるようにした露光装置を用...
開発したCTPシステム「エコネックス」は文書や画像データを露光、現像するプレートやプレートセッター(露光機)、現像廃液分離装置などで構成する。
微細化のカギを握る露光装置は、技術革新とともにこの5年で価格が5倍近くに膨れあがり、先端機はジェット戦闘機並みの約50億円に達する。... 露光機に限らず装置業界全体が直面する課題だ。 ......
今回の製造プロセスは露光機の照明とマスクパターンを相互に最適化することで回路をさらに微細化できる技術「SMO」を利用したもの。
明電舎と小野測器は23日、自動車試験機事業で提携すると発表した。... 明電舎の自動車試験機事業の売上高は09年3月期で約180億円。... 小野測器はマスク露光機事業を売却、自動車用計測に経営資源を...
また、露光機等の揺れに弱い装置に関しては前述の緊急地震速報を活用した防災システムと連動し、本震到達前にシャットダウンするシステムも導入した。 ... システム全体の動作としては、当社に本震...