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記事検索結果
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半導体露光装置も3次元(3D)構造の半導体に対応したArF液浸露光装置を主軸に日本やアジアの顧客を新規開拓する戦略が奏功し、販売が増えている。
後工程向け製造装置・材料、新たな商機見込む ニコンが主力のArF液浸露光装置の最新機種を、日立ハイテクが直径12インチ(約300ミリメートル)のダ...
「1β」の開発には3年間に毎年10億ドル規模の投資を行い、韓サムスン電子などが採用している先端の露光技術「極端紫外線(EUV)」を使わず、成熟した「ArF液浸」の技術を用いて開発に成功...
ArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーは世界シェア首位でEUV(極端紫外線)レジストにもモノマーを供給。
16年から始めた構造改革以降、ArF液浸の開発を縮小。... ただ、ASMLはArF液浸露光装置のシェアでもニコンを上回っているとみられる。... キヤノンはKrFとi線を、ニコンはArF液浸、ArF...
i線の半導体露光装置など非先端領域が伸びているが、新たに産業技術総合研究所(産総研)からフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注するなど総じて堅調に推移しそうだ。&#...
ニコンは露光装置のラインアップとして光源にフッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、KrF、i線を使った製品をそろえている。... これまでArF液浸、ArFドライの開発に注力してい...
「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。回路寸法としては、ArF液浸が使われるところが当社の主戦場に...
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。
特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の装置が伸びるという。... 同社の主要顧客がいるとみられる米国では、既にi線、KrF、ArFドライの装置のほか...
フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。
波長が365ナノメートル(ナノは10億分の1)のi線から同193ナノメートルのArFまで対応し、パターン形状への影響を軽減して歩留まりを上げる。
ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。... 新井工場では21年度、ArF・EUV両レジスト用のポリマ...
特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。... 渡辺哲也執行役員経営企画本部長は「ArFレジスト市場は、今後10年は伸び続...
100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...
フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。
ArF(フッ化アルゴン)液浸露光向けを中心に販売は好調で、今後は5Gなどの普及で需要増加が見込まれる最先端の極端紫外線(EUV)露光向けを拡販する。
