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内部機構やソフトウエアの改良を行い、シリコンウエハーや微小電気機械システム(MEMS)デバイスの1時間当たりの評価性能を従来モデルの2・6倍に高めた。MEMS・半導体業界の研究機関のほ...

ニコンは、MEMS(微小電子機械システム)用の新型の露光装置を市場投入する。

NEC SCHOTTコンポーネンツ(滋賀県甲賀市、武富正弘社長、0748・63・6610)は、微小電気機械システム(MEMS)向け極細貫通電極付きガラス基板「シ...

半導体のワイヤボンディングの前処理、ガラスやフィルムの濡れ性向上、微小電気機械システム(MEMS)やマイクロ流路形成などエレクトロニクスや先端医療分野での微小面積での表面処理が的確にで...

先端のCMOSやMEMS、アナログデバイスへの投資が続く 「STマイクロを徹底的に調べろ」。... 加速度センサーを含む微小電気機械システム(MEMS)や、アナログ、...

微小電気機械システム(MEMS)、次世代の光通信デバイスや半導体、バイオデバイスの基礎研究などに広く使われる。

金属、食品・醸造、機械加工、微小電気機械システム(MEMS)など9分野について21テーマの発表を行う。

微小電気機械システム(MEMS)技術により、流路部は高さ0・3ミリメートル×幅3ミリメートルに小型化した。

東京大学の下山勲教授らは、0・1パスカルの気圧を計測できる微小電気機械システム(MEMS)気圧センサーを完成した。

同センターが蓄積している微小電気機械システム(MEMS)、精密成形の各技術を融合させる取り組みにより、機能性樹脂製品の開発をはじめ医療、環境分野などへの応用を目指している。... 研究...

デバイスの小型化に伴い、微小光学レンズや微小電気機械システム(MEMS)などの分野で、曲面を自由に加工できるマイクロ切削工具の需要が増している。

MEMS式のジャイロコンパスは「ノースファインダーCS1」。MEMSセンサー、加速度センサー、独自の演算アルゴリズムを活用した。MEMSセンサーは自動車の横滑り防止装置向けの量産タイプを応用。

国内メーカーがMEMS関連事業で300ミリ対応を表明したのは初めて。... DNPのMEMS事業は受託専業。... MEMSは基板の内部に微細な機械構造を併せ持つ部品。

伊仏STマイクロエレクトロニクスは微小電気機械システム(MEMS)センサーの生産能力を増強する。... MEMSは速度や圧力を測る微小なセンサーとして用途が広がっている。... STマ...

多孔質体や微小電気機械システム(MEMS)などの微小構造用として導電性のガラス被膜をつくれる。

そして、パワーエレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、微小電気機械システム(MEMS)、カーボンナノチューブ(CNT)など六つを、中核的な研究領域と定めて世界的な競争力...

シリコンと微小電気機械システム(MEMS)を組み合わせたNEC独自の2段構造で設計した。

▽伊豆地方の常緑樹と虫こぶ形成昆虫の多様性、および、地球温暖化の影響評価(徳田誠九大助教)▽植生帯境界における構成樹種の水分生理特性の観測に基づいた気候変動に対する植生応答の解明...

【東大阪】ホシデンは小型情報端末機器向けのデジタル微小電気機械システム(MEMS)マイクロホンユニット「KRM5303=写真」を開発した。

今秋にもインドの大学内を間借りし、微小電気機械システム(MEMS)などの製造装置を研究開発する拠点を開設する。

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