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記事検索結果
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ナノ機械は、マイクロメートル(マイクロは100万分の1)領域の微小電気機械システム(MEMS)のナノ版で、NEMSと呼ばれる。
【仙台】産学官組織のMEMSパークコンソーシアム(江刺正喜代表=東北大学教授)は、微小電気機械システム(MEMS)を応用したアプリケーションのアイデアを競う「第...
クリーンルーム内で露光装置などを用いて荷重センサーを試作し、微小電気機械システム(MEMS)加工についての理解を深める。
大日本印刷は微小電気機械システム(MEMS)で、厚さ1ミリメートルと従来より20%程度薄型化した3軸加速度センサーを開発した。... 制御ICとMEMSチップを従来の平置きから...
NEC SCHOTTコンポーネンツ(滋賀県甲賀市、ラウパッハ―スミヤ・ヨーク社長、0748・63・6610)は、微小電気機械システム(MEMS)用8インチの極細...
ドイツ特殊ガラスメーカーのショットは、約0・1ミリメートル厚の微小電気機械システム(MEMS)用ガラスウエハーを8月上旬から発売する。
市場の将来を考えてみても、電気自動車やMEMS(微小電気機械システム)の普及など、同社の検査・分析能力を必要とする領域が広がりつつある。
同装置はCADデータを基に直接描画するためフォトマスクが不要で、半導体や微小電気機械システム(MEMS)の製造開発での期間短縮やコスト削減が期待できる。
オムロンは27日、携帯機器の通信性能を高める高周波(RF)微小電気機械システム(MEMS)スイッチ(写真)を開発したと発表した。... MEMS技術を活...
たとえば、ナノテクノロジーを駆使した微細加工などの、微小電気機械システム(MEMS)技術では、新たな市場開拓が注目されている。
両者は学術・産業研究の促進を目的に05年7月に5年間の協力協定を締結しており、微小電気機械システム(MEMS)技術に関する情報交換やシンポジウムの共同開催などに取り組んできた。... ...
その実現には、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いて、計測・制御・電源・通信の各機能を一体化したセンサーモジュールを使う。... MEMSはこれまで圧力や加速度などの単機能センサ...
