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三菱マテ、研磨性能高める化学機械研磨用工具を発売 （2010/2/26）

また、切り粉の排出性が高い砥粒保持構造にして、研磨パッドのウエハー研磨性能を従来品比で約1割高める。... 砥粒の配置や切り粉の排出性の良い砥粒保持構造にすることで、研磨パッドの性能を整えながら同パッ...

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