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記事検索結果
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今後、東南アジアやインドでも半導体関連産業などが立ち上がると見ており、現地の研究機関向けに化学気相成長(CVD)装置やドライエッチング装置などを提案。
半導体ドライエッチング技術は半導体デバイスの微細化・高集積化を実現する手段としてリソグラフィー技術と双璧をなすキーテクノロジー。... 本書はドライエッチング技術の基礎から応用までビギナーに理解できる...
サムコはアジア市場向けに低価格の発光ダイオード(LED)用ドライエッチング装置「RIE―331iPC=写真」を12月に発売すると29日発表した。... 円高を生かし真空部品や高...
そこで同社は耐プラズマ性が求められるドライエッチング装置など特定の用途を想定し、必要な機能を満たすとともにFFKMより安価な材料を開発してきた。
多数の光ゲートスイッチ素子を含むウエハーを、プラズマ化した化学活性度の高い励起状態にある分子を利用して材料加工する「ドライエッチング法」を使って1回加工するだけで集積化できる。
アルバックはシリコン貫通電極(TSV)向けに、エッチングからメッキ工程までのTSV製造工程で使用する装置と製造条件を提供するサービス「TSVターンキーソリューション」を12月から開始す...
アルバックは27日、従来製品に比べて生産性を40%向上した発光ダイオード(LED)量産用ドライエッチング装置「アピオスNE―950EX」を12月から発売すると発表した。
【京都】サムコは発光ダイオード(LED)生産用途向けの窒化ガリウム(GaN)ウエハー専用ドライエッチング装置「RIE―330iP」を25日発売する。... 多数枚同時処...
水や薬液を使わずに研磨するドライポリッシング、フッ素系ガスのプラズマでエッチングするドライエッチング、アルカリ系薬品と微細な研磨剤を併用するCMP(ケミカルメカニカルポリッシュ)、超微...
同センターでは05年9月からナノ加工機やドライエッチング装置などの機器を1時間あたり数千―1万数千円で貸し出ししている。
同製品はドライエッチング剤として、高い選択性、高いエッチングレートを有しており、短い大気寿命はPFCに比べ極度に低い温暖化特性を達成した。
同社は、温暖化係数ゼロのF2ガスをドライエッチングガスとしてTFT液晶パネルを製造する技術をこのほど確立。現在はシリコン上に微細なパターンを加工するエッチング工程で六フッ化硫黄(SF6)...
