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記事検索結果
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ヘリコンプラズマと呼ばれる高周波電波で過熱したプラズマを、磁場と電極を組み合わせて加速させる方式は世界初。... このため加速方式も電極を使わない研究が主流だが、これまでの研究では十分な加速を得られて...
【立川】エリオニクス(東京都八王子市、岡林徹行社長、042・626・0612)は、加速電圧50キロボルトの電子ビーム描画装置「ELS―S50」を開発した。
日本電子は最高加速電圧300キロボルトの原子分解能電子顕微鏡「JEM―ARM300F=写真」を5月中に発売する。自社開発の収差補正装置を組み込み、従来製品で200キロボルトだった最高加速電圧を...
加速電圧は70キロボルト以下。 電子線照射源は、真空室内でフィラメントから生じた熱電子を高電圧で加速し、出射窓から、電子線を大気中に放出する装置。
電子光学系の加速電圧を従来の100キロボルトから150キロボルトに高め、前方散乱による電子線の広がりやノイズを抑えて超微細加工を可能にした。
【水戸】筑波大学は研究基盤総合センター応用加速器部門の大型加速器を2014年10月に再稼働させるめどをつけた。... 同加速器は東日本大震災により、長さ約18メートル、直径約5メートルの加速タンク内に...
スーパーハイブリッド対物レンズを搭載し、加速電圧15キロボルトで0・8ナノメートル、同1キロボルトで1・2ナノメートルと高分解能を実現した。加速電圧を従来機種に比べて低く抑えられるため、軽い物質を壊さ...
加速電圧は最大6キロボルトまで高められ、銅をはじめとする金属材料なども安定して成膜できる。 同社が開発したハイエミッションEB銃「NEG―06NF―HE=写真」は、加速電圧2...
電子ビームの直進性性能を左右する加速電圧は125キロボルトに引き上げ、線の幅に対する深さ(アスペクト比)も向上した。... 従来機の保証線幅は7ナノメートル、加速電圧は100キロボルト...
製作した加速電圧1000キロボルトの超高圧電子顕微鏡「JEM―1000KRS=写真」は、ガスを用いて10分の1気圧と大気圧に近い環境下で試料の観察ができる。
(水曜日に掲載) ≪This Word≫ FE―SEM=走査型電子顕微鏡(SEM)の中でも電子源を電界放出型に変えることで、従...
新型の照射方式により、低加速電圧でも超微細な3次元構造が観察できる。... エリオニクスが発売した「ERA―9000」は、加速電圧が0・1キロ―30キロボルトで、1キロボルト時の分解能は1・3ナノメー...
電子線を加速させる電圧が高くなると分解能も向上する。一般に加速電圧15キロ―30キロボルトで、数ナノメートル(ナノは10億分の1)の分解能を実現している。
