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高田工業所、小型・低価格の洗浄装置（2012/12/4）

高田工業所はパワー半導体や高周波デバイスなどの製造前工程で使用する「枚葉式ウエット(洗浄)処理装置 TWPmシリーズ=写真」を発売した。

大日本スクリーン、小径超薄型対応のウエハー洗浄装置（2012/11/29）

【京都】大日本スクリーン製造は28日、直径200ミリメートル以下の超薄型ウエハー向けの枚葉式洗浄装置「SU―2000=写真」を12月5日に発売すると発表した。

小森コーポレーション、デジタル印刷機事業強化（2012/8/29）

現在、枚葉式と巻紙式のインクジェットデジタル印刷機の市場投入に向け調整を進めており、本格参入に備える。

FSIは、ウエハーを一枚ずつ処理する枚葉式の洗浄装置を手がける。

年度内に新製品として、PODで主力のロール紙対応型で毎時220メートルの印刷が可能な高速機種や、需要の大きいB2サイズ対応で1枚ずつ印刷できる枚葉式PODを投入する計画だ。

インタビュー/大日本スクリーン製造社長・橋本正博氏（2011/2/25）

洗浄装置は微細化製品に向く枚葉式の比率が高いが、DRAM向けと言われるバッチ式も使用範囲が広がり需要が底堅い」 ―生産拠点の稼働率も上がっています。

主力である半導体ウエハーを1枚ずつ洗う枚葉式洗浄装置の開発コンセプトを語る。 ... そのため「一度に多くのウエハーを洗浄するバッチ式もあるが、(より洗浄度の高い)枚葉式の引き...

セミコンジャパン2010が開幕、微細化対応を加速（2010/12/2）

【洗浄装置】洗浄装置では微細化の進展でウエハーを一枚ずつ処理する枚葉式の需要が増えている。枚葉式洗浄装置では世界シェア70%以上を握る大日本スクリーン製造が処理能力を従来に...

【京都】大日本スクリーン製造は24日、回路線幅十数ナノメートル(ナノは10億分の1)の超微細な半導体ウエハーへの対応と高い処理能力を両立させた枚葉式洗浄装置「SU―3200=写...

【京都】大日本スクリーン製造は半導体ウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式洗浄装置で、ウエハー上の液流動を解析した数値シミュレーション技術を確立した。... 洗浄装置は半導体ウエハーの大口径化や微細化が進む...

中外炉工業、フィルム基板の製造装置に参入（2010/7/28）

基板製造装置ではカットしたガラスを主な対象とする枚葉式を展開しているが、ディスプレーや太陽電池などの薄型・軽量化で需要拡大が見込まれるフィルム基板にも対応し、事業を拡大する。鋼板連...

アルバックが第1弾として10月1日に投入するのは、金属や酸化物を基板上に成膜する同社のバッチ式高真空蒸着装置「ei―5」用の診断ソフト「ファビセック」。... 薄型ディスプレー(FPD)...

千葉県、「千葉ものづくり認定製品」に7製品−認定証交付（2009/9/7）

【千葉】千葉県は2009年度第1回「千葉ものづくり認定製品」に7製品を選定し、認定証交付式を開いた。... ▽ジィ・シィ企画(佐倉市)「カード決済用端末向け組込アプリケーション」▽しの...

表面や裏面、ベベル部などを洗浄する複数のユニットで構成する枚葉式洗浄装置で利用する。この技術を搭載したユニットを「ベベルエッチングチャンバー」として、300ミリメートルウエハー対応の枚葉式洗浄装置「S...

【横浜】アクアサイエンス(横浜市緑区、砂金養一社長、045・937・0810)は、レジスト除去後のシリコンウエハーに残ったポリマーを、従来の100分の1以下の費用で除去できる枚葉式洗浄...