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42件中、3ページ目 41〜42件を表示しています。 (検索にかかった時間：0.003秒)
大同大、半導体位置検出素子を車部品計測に応用 （2009/10/26）
【誤差プラスマイナス20マイクロメートル】 現状では、あらかじめ穴の寸法に合わせたピンをつくっておいて、開けた穴にまっすぐ入るかどうかで合否を判定しているという。... 計測誤差はプラスマイナ...
露光装置メーカー3社、32ナノ半導体対応新型装置の概要明らかに （2008/12/2）
ASMLはウエハーステージに露光と計測を同時に行う方式を採用。... ニコンとASMLはウエハーステージの計測方法を変える。... 従来、横方向のビーム伸長で計る干渉計測だったため、空気のゆらぎで若干...
