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ダイセルは半導体の需要拡大や微細化の進展を受け、レジスト用ポリマーの生産・研究開発体制を強化する。... ダイセルはレジスト向けにポリマーや溶剤を供給している。... 同社はEUVレジスト用ポリマーで...

自動車向け視野に品種拡充 日本ゼオンは、CPU(中央演算処理装置)など半導体デバイスの熱伝導性を高めるシート系放熱材料「TIM」や、フォトマスクに回路パターンを形成す...

最先端のEUV(極端紫外線)レジスト用モノマーも、レジストメーカーの採用が徐々に拡大している。 ... ArFレジストの需要拡大とEUVレジストの進展を踏まえ、両レジ...

住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

韓国では、原料を調合してレジストを生産する最終工程を行う。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端紫外線(EUV)レジストの製造設備を増設し、23年度上期に稼働する。... 韓国...

微細化、EUV向け先行 【レジスト活況】 世界各地で進む半導体増産計画を前に、化学各社は半導体製造プロセス材料の増産投資を活発化している。

洗浄薬品・レジストに最大500億円 「先行的に生産能力を上げなければ、顧客は安心して材料を買ってくれない。... 同社は最先端レジスト大手の一角で、同分野は日本企業の独壇場となってい...

【設計合成に強み】 1970年代に半導体の量産が本格化した露光波長436ナノメートル(ナノは10億分の1)のg線レジストから積み上げてきた技術を応用。

ディスプレー材料は、主力の液晶パネル向けのカラーレジストなどでパネルの中国生産シフトに対応しつつ、次世代材料の立ち上げを急ぐ。

住友化学は2025年までに、国内外で半導体製造プロセス材料の増産や設備更新に300億―500億円を投資する。愛媛工場(愛媛県新居浜市)と中国2拠点で、新工場建設を含め半導体表面の異物を...

EUV半導体材料の需要拡大 素材各社、回路微細化で商機 (2021/6/7 素材・医療・ヘルスケア)

またレジストを構成する感光材や溶剤では、より高純度な製品に対応した生産体制構築が進む。

大阪有機化学工業、半導体向けレジスト用原料増産 (2021/5/27 素材・医療・ヘルスケア)

大阪有機化学工業は半導体向けレジスト用原料の生産能力を従来比1・3倍に増強する。 ... 金沢工場(石川県白山市)に、主にレジスト用原料を生産する新規設備を導入する。

EUVレジストなど基盤技術の開発では欠かせない存在となっている。

感光材に加え、レジスト用ポリマー、高純度溶剤も展開している。

金属系導電性材料や絶縁材料のレジスト材などを液材に使用できる。

最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤(レジスト)の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。

同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。EUVレジストも採用が決まり、顧客の生産計画に合わせて出荷が増える見通し。大阪で集中的に体制を強化し、最先端レジストの競争力を高める。 &...

ダイキン、韓国に新工場 半導体用エッチングガス生産 (2021/1/22 電機・電子部品・情報・通信)

新工場で生産するエッチングガスは、ドライエッチングと呼ばれる半導体の製造工程で、感光剤(レジスト)などの薄膜を除去して微細な回路を形成するのに用いられる。

極端紫外線(EUV)露光用レジスト原料の事業が成長し始めた。 半導体レジスト原料の事業が好調だ。

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

FFEMはEUVレジストの開発や生産に向け、今回の検査装置導入を含め計45億円を投資した。液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。現在、信越化学工業などがEUVレ...

現像液で不要なレジストを洗い流す必要があり、大半のレジスが捨てられていた。

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