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記事検索結果
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両側には製造プロセスの心臓部となるプラズマ化学気相成長法(PECVD)装置が3台ずつ合計6台並び、ロボットアームが次々とガラス基板を出し入れする。
量産に向く気相成長法でグラフェンを作製する。... 加熱した反応管に原料のアセチレンガスを供給、酸化アルミニウムの単結晶基板であるサファイア基板にグラフェンを気相成長法で形成する。... 絶縁体上にグ...
化合物半導体を製造する有機金属気相成長法(MOCVD)装置を4台導入、開発したのが紫外線(UV)―LEDだった。
米ライス大学、産業技術総合研究所、米ユタ大学などの研究チームは、グラフェンと六方晶系窒化ホウ素(BN)とを組み合わせたハイブリッド型シート材料の製造法を開発した。... それに対し、ラ...