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試料をナノメートル単位(ナノは10億分の1)で立体的にカラーで観察できる。... SEMは真空内で電子ビームを試料表面に照射させて画像化する。

今回の装置は一度の露光で試料のある深さの鉛直断層画像を測定するもので、試料表面に平行な画像が非接触で得られる。... 試作装置では10円玉を試料に表面の特定の深さの鉛直断層画像などを得た。

この座標情報から試料表面の画像観察を可能にする。 ... また集束イオンビーム(FIB)で金属薄膜や有機材料の表面を加工しながら加工状態を観察できる機種もある。 一方、...

日本電子は試料表面の凹凸を鮮明にした画像や組成の差を強調した画像を表示できる走査型電子顕微鏡(SEM)「JSM―7600F=写真」を発売した。... SEMは電子ビームを試料に...

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