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BEANS研究所(東京都千代田区、作田久男理事長、03・5835・1870)が実施する産学官連携プロジェクト「BEANSプロジェクト」の成果が、微小電気機械システム(MEMS&...

【鳥取】キューブ表面実装技術研究所(鳥取市、木下真言社長、0857・37・6091)は、クリームハンダを高品質で印刷できるマスク製造技術を開発した。... 微小電気機械システム(...

微小電気機械システム(MEMS)技術を用いて製品化した。... 集光用シリコンレンズ、MEMSセンサー、ICなどで構成する。

電気学会センサ・マイクロマシン部門 14、15日の両日、第27回「センサ・マイクロマシンと応用」シンポジウムをくにびきメッセ(松江市)で開く。同シンポはセンサー・微小電気機械シ...

【立川】アドバンストシステムズジャパン(東京都三鷹市、平井幸広社長、042・241・2080)は、常温で電子部品を実装できる金属接合技術を開発した。... 現在プローブを微小電気機械シ...

オムロンは4日、微小電気機械システム(MEMS)技術を用い、高感度の非接触温度センサーを完成したと発表した。

半導体製造の微小電気機械システム(MEMS)技術を応用した。... 同技術はシリコン基板を2枚のガラス基板で挟んだ3層構造。電子の増倍部はシリコン基板を深掘りエッチング技術で削って形成...

アルプス電気は製法などを見直し、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いたピエゾ式の小型圧力センサーの生産性を大幅に改善する。... ピエゾ抵抗式のセンサーは外部の圧力で生じた膜&#...

三菱ガス化学と産業技術総合研究所は14日、微小電気機械システム(MEMS)技術を使い、安全で高効率に過酸化水素を合成できるチップサイズの装置を開発した。... 今回、触媒を詰めたマイク...

マイクロリアクターは、微小電気機械システム(MEMS)技術で作るため、扱う薬液の種類に応じて材質や流路の形状を変えられる。... 新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO&...

人間の意志をロボットや機械、コンピューターに伝えるヒューマンインターフェース(HI)。... 米マイクロソフトの「XBox360」向けの新システム「キネクト」は、カメラやセンサーにより...

複数の機能を集積化したマイクロシステムをアセンブリー(組立工程)フリーで作製する3次元露光法を確立した。... 鈴木准教授は「目的は従来の機械加工と先進的な微細技術との間の領域にアプロ...

たとえば、ナノテクノロジーを駆使した微細加工などの、微小電気機械システム(MEMS)技術では、新たな市場開拓が注目されている。加速度センサーやジャイロスコープ、プロジェクターなど、技術...

両者は学術・産業研究の促進を目的に05年7月に5年間の協力協定を締結しており、微小電気機械システム(MEMS)技術に関する情報交換やシンポジウムの共同開催などに取り組んできた。... ...

その実現には、微小電気機械システム(MEMS)技術を用いて、計測・制御・電源・通信の各機能を一体化したセンサーモジュールを使う。... MEMSはこれまで圧力や加速度などの単機能センサ...

一方、マイクロチップレーザーは微小電気機械システム(MEMS)技術により複数の機能光学素子を直接接合し、精密研磨技術を応用して共振器ミラーを一体化した。

【京都】コーデンシ(京都府宇治市、中嶋郭和社長、0774・23・7111)は、微小空間の真空度を測定できる0・8ミリメートル角チップ素子「マイクロ真空計」を開発した。... 微小電気機...

【浜松】浜松ホトニクスは21日、微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し、小型で低価格な近赤外域イメージセンサーを開発したと発表した。... 同技術は、入射光を光電変換するInGa...

微小電気機械システム(MEMS)技術を利用した。... 同社の薄膜プロセス技術や微細加工技術、パッケージ技術を活用。... ピエゾ抵抗式は外部の圧力による膜(ダイヤフラム...

【微細化の先へ】 最近、世界最大のファウンドリー台湾TSMCがベルギーの研究機関、IMECと微小電気機械システム(MEMS)技術を活用した次世代半導体の開発で提携した。相補型金...

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