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【横浜】片桐エンジニアリング(横浜市鶴見区、片桐俊郎社長、045・570・6886)は、自動制御の化学気相成長(CVD)装置「フルオート真空プロセス装置=写真」...

三つの電極を持つ高周波プラズマ化学気相成長(CVD)装置で、高純度のCNTを基板上へ垂直に配列させることに成功。... 燃料電池では、CVD装置による加工の100分の1以下のコストで被...

加工方法はプラズマ化学気相成長(CVD)装置内の基材に20マイクロメートル以上の穴を等間隔で開けた金属網を置き、3キロボルトの直流単パルス波を高速でかける。

【横浜】東海大学工学部の庄善之准教授と大橋春日通商(大阪市西区、三浦健社長、06・6533・3081)は、化学気相成長(CVD)装置による表面改質の100分の1以下のコ...

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