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「そこでTSV(スルーシリコンビア)の技術が注目され始めています。... TSVは2010年以降にポピュラーになってくるとされている。
エルピーダメモリは年内に広島工場(広島県東広島市)に貫通電極(TSV)の製造ラインを敷設する。... TSVはチップを3次元方向に積層する配線技術の一つ。... TSV...
同技術は従来の配線技術を発展させた貫通電極(TSV)などを応用し、薄くした半導体ウエハーやダイを結合することで3次元LSIを製造するもの。