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記事検索結果
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また次世代の回路微細化技術として注目されるダブルパターニング向けには、ネガ画像形成方法用フォトレジストを訴求する。露光部でパターン形成する方法で、特に微細なホールを開ける場合に利点がある。昨年から引き...
半導体の回路パターンを2回以上に分けて転写して微細化する露光方式「ダブルパターニング」に対応した最新装置だ。これまでのArF液浸では不可能だった20ナノメートル台まで回路線幅を微細化できる。 ...
【金沢】金沢工業大学バイオ・化学部応用化学科の大沢敏教授とスギノマシン(富山県魚津市、杉野太加良社長、0765・24・5111)は25日、高圧水を噴射するウォータージェット技術を用いて...
回路線幅の微細化で性能を高める従来のLSIが抱える限界を、3次元LSIは解決すると見られているが、これまで電源部の評価手法が確立していなかった。低消費電力の次世代3次元LSIの設計・開発が効率化できる...
オランダのASMLとのシェアの差が開くなか、ニコンは「フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)液浸」と呼ばれる露光技術の新型機種「S620」の拡販で盛り返しを狙う。... 06年以降、...
室温で発振するシリコンレーザーの実用化が近づく。... マイクロディスクの直径を発光波長と同程度まで微細化すると、ディスク内部で発光が円周方向に共振し、光の強度が増幅される仕組み。... 波長領域は光...
東芝をはじめ、韓国や台湾などの半導体メーカーが相次いでメモリーの微細化に動き始めたことにより、装置の需要は「上流部分から動き始めている」(SEAJ)。... 日系装置メーカーは収益性確...
鉛、水銀、カドミウム、六価クロム、ポリ臭化ビフェニール、ポリ臭化ジフェニールエーテルの6種類の有害物質の使用が制限されている。 【優秀賞】 《高純度SiC製プロセスウエハーの...
大半を広島工場と台湾子会社でパソコンなどに内蔵するDRAMの回路線幅40ナノプロセス化に振り向ける。微細化投資に加え、製造委託を推進し、供給能力を同30%引き上げる。 ... 「パソコ...
まずは微細化や多値化で競争力を高める戦略で、20ナノメートルのプロセスを今年夏に前倒しで製品化する。システムLSIのファブレス化については「事情がありなかなか結論が出ていないが、IDM(垂直統...
日立ハイテクノロジーズは太陽電池パネル用の反射防止膜の装置、材料事業を2010年度から本格化する。... 半導体の回路線幅の微細化に伴い、装置メーカーの開発費負担は増加する。
新薬剤を使うと回路断面がより長方形に近い形状となるため、微細な配線設計が容易になる。 液晶ディスプレーの大型化・高輝度化に伴い、COFの回路部分の微細化が求められている。
回路線幅の微細化や量産に伴う、低コスト化が進めば、さらなる市場拡大も予想される。 ... 市場開拓の武器となるのが回路線幅の微細化。... 微細化を支えるのがファウンドリー(半導体製造...
微細化が進むLSIに対応し、より高い誘電率を持つ高性能な膜を作れる。大学の成果を基に、企業が製品化を目指す科学技術振興機構(JST)のプロジェクトで、20日に企業化開発の成果として認定...
