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半導体や電子部品の微細加工、材料検査用の励起光源、描画装置などへの応用を見込む。

半導体用電子ビーム描画装置の販売台数が1台にとどまり、同装置関連で前年度比約100億円の減収要因となった。透過型電子顕微鏡(TEM)は堅調だったが、蛍光X線分析装置が環境関連市場で伸び...

日本電子は走査型電子顕微鏡(SEM)や電子ビーム描画装置などを製造する。... 成膜・蒸着向けの電子ビーム発生装置事業は、新たな市場を開拓する。... そこで不純物除去用途として同装置...

エー・アンド・デイ(A&D)、日本電子、ホロンの3社は3月にも電子ビーム発生装置(電子銃)関連事業で提携する。... これらの技術や基板を活用し、ホロンと半導体...

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