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日立と日立産機、小型熱ナノインプリント装置開発（2008/11/4）

成形加工する真空チャンバーの容積を減らし、装置も小型化した。

テクノ学び隊(135)今日のテーマ‐シンクロトロン光（2008/10/30）

その電子は1周75・6メートルのリング状に多くの電磁石(偏向磁石)を置いたドーナツ型の真空チャンバーに送られる。

真空チャンバー内を低塵化し成膜精度を向上した。マスク入れ替え用に予備チャンバーを設けるなど、工程を短縮した。... 真空チャンバー内の搬送機構に、磁石を用いた非接触動力伝達を用いることで低塵化した。

昭和真空、インライン化が可能なスパッタリング装置を発売（2008/9/5）

真空チャンバー内にレンズ面の反転機構を備えており、両面への自動成膜が可能。... 真空チャンバーの直径は500ミリメートル。自社のAR成膜用蒸着装置(真空チャンバーの直径900ミリメートル&#...

【仙台】メルコジャパン(茨城県日立市、栗田益行社長、0294・36・1306)は、大型液晶ガラス基板製造用の真空チャンバー(真空容器)事業を拡大する。... 真空チャン...

東工大など、シリコン光回路に光アイソレーター作製（2008/2/19）

物性の異なるシリコンと特殊材料「磁気光学ガーネット」を真空状態で結晶成長し、接合させることに成功した。... 真空チャンバー内で磁気光学ガーネットとシリコンにプラズマを照射して結晶表面を活性化し、高温...

新光化学工業所、10ナノメートル以下の金属ナノ粒子を作製（2008/2/19）

真空チャンバーにるつぼを設置し、高温で金属を溶かして蒸発させる。チャンバーは回転しており、内部の界面活性剤と油の膜に分散して疎水性コロイドとなる。