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記事検索結果
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この部門を軽視し、訴訟問題に発展すると、「一つの事業部が赤字に陥ったり、極端な場合は、事業部が消滅したりする」とクレハの清輔洋一知的財産部長は話す。
経営陣の再任が否決されたアデランスホールディングスのような極端な例も現れたが、今回もほとんどの直接対決は会社側の勝利に終わった。
だが、20ナノメートル台は露光光源に極端紫外線(EUV)を用いる研究開発が業界では進められている。
一段と微細化した次世代半導体は、液浸での2回露光(ダブルパターニング)で製造するが、光源に極端紫外線(EUV)を用いたEUV露光装置も前倒しで使いたい」 ―シス...
オランダのASML、ニコン、キヤノンの露光装置メーカー3社は32ナノメートルプロセスに向けた研究開発を、露光を2回実施する「ダブルパターニング」、純水より屈折率の高い溶媒を介して解像度を高める「高屈折...
【影響尾を引く】 「30歳以下は極端に技能者の数が少なくなる」と、リコーの若松勝久生産事業本部生産統括センター所長はもらす。
次世代半導体の露光技術は高屈折率液浸のほか、2回露光(ダブルパターニング)や極端紫外線(EUV)を用いた方法が考案されている。
