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まず、フォトマスクや光学素子の表面に付いた汚れの洗浄に用いる「真空紫外光照射装置」を製品化した。

光学技研(神奈川県厚木市、岡田幸勝社長、046・224・2555)の「深紫外対応グラントムソン偏光制御素子」への引き合いが増えている。... 同素子は07年度の「神奈川工業技術開発大賞...

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