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記事検索結果
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ただ水溶性レジスト材料にはこれまで、含水率の増加、材料の膨張によるパターン寸法の異常発生などの問題があった。 ... 既存のレジスト材料はアクリル樹脂やエステル樹脂などの石油由来の原...
「7ナノメートル(ナノは10億分の1)」世代が対象で、19年には「5ナノメートル」向けに新規機構のレジストの量産を目指す。... レジストはシリコンウエハー上に塗布し、レーザー光で回路...
「7ナノメートル(ナノは10億分の1)」世代が対象で、19年には「5ナノメートル」向けに新規機構のレジストの量産を目指す。... レジストはシリコンウエハー上に塗布し、レーザー光で回路...
レジストの損傷もなく「毎分142ナノメートル(ナノは10億分の1)の速度で堆積可能なITO透明電極膜が形成できる」(諸橋教授)という。
直接描画装置は、ウエハーのプリント基板上に塗布した保護膜(レジスト)などに直接レーザーで描画する装置。... 露光波長域の拡大で高い描画品質を実現でき、対応可能なレジストの種類も広がる...
日本オラクルは効率的なマーケティング活動を支援するソフトウエア製品「クロス・チャネル・マーケティング」で新たにイベントレジスト(東京都渋谷区、ヒラヤマ コウスケ社長、03・6869・5...
ナノインプリントは電子回路が彫り込まれた型をレジストが塗布されたシリコンウエハーに押しあてて転写する技術で、半導体の微細化や製造コストを下げる技術として注目されている。
同日発表した14年4―12月期ではスマートフォンなどに搭載される先端半導体の製造に使うフォトレジスト、液晶パネル製造用の着色レジストなどが販売好調だった。
当社はバッテリー単品を販売するだけでなく、エネルギーの最適管理システムを同時に提供して差別化する」 【JSR社長・小柴満信氏/EUVレジストで貢献】&#...
先端半導体で最も微細な回路を描く層にはArF液浸レジストが使われる。... 14年4―9月期のKrFレジストの売上高は前年同期比15%増の約50億円。... さらに3Dメモリーの量産が本格化す...
東京応化工業もメモリー半導体需要に支えられてレジスト販売を伸ばし、同期の全社の売上高は同7・6%増の420億円、営業利益は同32・9%増の67億円だった。
ドライフィルムはレジスト、ベースフィルム、カバーフィルムの3層構造。... 今回、同社はレジストとベースフィルムだけを必要な長さに切り取る技術を開発した。基板とフィルムの搬送速度を同期させ、カバーを剥...
SCREENホールディングスはスプレーコート方式を採用したレジスト塗布装置「80EXスプレーコータ=写真」を発売した。立体構造を持つ微小電気機械システム(MEMS)基板などへ均...
その都度、レジストを調整するといったすり合わせ作業が必要となる。... 半導体メーカーへの現地供給に加え、このレジストの細かい調整を現地化したのが特徴だ。... 顧客側の露光工程の条件に近くなるため、...
