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記事検索結果
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実際にヨウ素129をICP―MSで分析すると、プラズマに使うアルゴンガス中の不純物キセノン129と、環境中に大量に共存する非放射性ヨウ素127由来のヨウ化水素(IH2)イオンが測定を妨...
そうした声を踏まえ、フッ化アルゴン(ArF)ドライでは生産性に加え、トータルコストの低減を重視する。
JFEスチール西日本製鉄所福山地区(広島県福山市)敷地内にある福山工場(同)は、酸素や窒素、アルゴンなどの産業用ガスを生産。... 新たな大型空気分離装置の生産能力は、...
ニコンは24年中に計3機種投入するが、さらに露光の波長別にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線の3機種の装置を投入。
主流のArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザー液浸露光装置(i―ArF)が延命し、精度向上はもとより処理能力も飛躍的に上がった。
フッ化アルゴン(ArF)フォトレジスト用感光性ポリマーの設備を2025年10月、極端紫外線(EUV)フォトレジスト用同ポリマーの設備を25年9月に稼働する予定。
フォトレジスト分野でも、液浸ArF(フッ化アルゴン)レジストの新ラインや、先端の分析装置などをそろえる次世代分析開発センターを設けた。
主な荷主である日本エア・リキードの主力事業所に営業拠点を置き、液化酸素、液化窒素、液化アルゴン、炭酸ガスなどの産業用ガスの配送を手がけるほか、水素の輸送実績を持つ。
その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。
研究チームは21年末に打ち上げられた高性能なJWSTによる観測で、アルゴンや硫黄の原子が電子を失い、イオンになった状態で存在するのを確認。
2ナノメートルノード以細の半導体の量産には、従来主流だったフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーを光源とする露光技術を超える高度な材料選択とプロセス制御の知識が必要になる。
