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京セラ、シリコンMEMS参入 水晶超える特性実現 （2020/2/28 電機・電子部品・情報・通信２）
【京都】京セラは、シリコンMEMS(微小電気機械システム)事業に参入する。子会社化したフィンランドのベンチャー企業の技術を使い、従来の水晶振動子やシリコン製品では実現できない周波数温度...
小糸、ヘッドランプに小型ライダー搭載 23年めど実用化 （2019/5/23 自動車）
ブリックフェルドのライダーは「シリコンMEMS(微小電気機械システム)ミラー」を採用するなど小型化ができ、自動車照明器内部への搭載がしやすいという。
東工大など、金メッキ使った加速度センサー開発−検出感度10倍に （2014/3/6）
東京工業大学異種機能集積研究センターの益一哉所長・教授、山根大輔助教、町田克之連携教授は、東京大学先端科学技術研究センターの年吉洋教授、NTTアドバンステクノロジと共同で、従来のシリコン微小電気機械シ...
