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記事検索結果
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そうした声を踏まえ、フッ化アルゴン(ArF)ドライでは生産性に加え、トータルコストの低減を重視する。フッ化クリプトン(KrF)とi線では300ミリメートルと200ミリメ...
ニコンは24年中に計3機種投入するが、さらに露光の波長別にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線の3機種の装置を投入。... 一方、新型のKr...
同社が強みとしてきた高純度化や品質保証の技術を生かせる製品群で攻勢をかける。 ... レジストポリマーは主力のフッ化クリプトン(KrF)用ポリマー向けに加え、超低メタ...
同社は1997年に同材料事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県上越市)で当時最先端のフッ化クリプトン(KrF)フォトレジストの生産を開始。その後もフォトマスクブランクス、フ...
技研精機が手がける部品はi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた半導体露光装置に使われる。... 内燃機関の市場成熟化を見据えて航空機関連や医療機器、半導体製造装置など向け部品など高精...
キヤノンが手がけるi線やフッ化クリプトン(KrF)露光装置の販売も増えている。... 一度で転写でき、複雑な回路にも対応しやすいとされるため、実用化されれば製造コストや消費電力の抑制に...
キヤノンは13日、光源にフッ化クリプトン(KrF)を使う半導体露光装置の生産性向上に成功したと発表した。
特にパワー半導体向けは需要が強く、自動車の生産回復や電動化を背景に需要が伸びている車載用のほか、太陽光パネルや蓄電池といった再生可能エネルギー分野向けなどで使用されている。 ...
ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...
中古装置を中心に、光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた非先端の装置が伸びる。... 特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の...
光源にi線、フッ化クリプトン(KrF)を用いた比較的古い技術だが、IoT(モノのインターネット)や人工知能(AI)の進展、電動車の普及などを背景に半導体...
「極端紫外線(EUV)など先端材料に加え、フッ化クリプトン(KrF)をはじめ既存材料も伸びた」と手応え。
グループから100人超応援 ―i線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン(KrF)両装置の2020年の販売台数は前年比40...
同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...
世界はデジタル化を抜きに語れない。... 長期的に右肩上がりの流れは変わらないのでは」 ―高粘度フッ化クリプトン(KrF)用フォトレジストが好調です。 ...
改良を重ね、縮小で転写ができるようになり半導体の微細化に貢献してきた。だが乱高下する半導体市況が事業環境に影響するようになり09年ごろ、光源に水銀を利用するi線露光装置やフッ化クリプトンを使うKrF露...
キヤノンは光源に水銀灯を使用するi線露光装置と、フッ化クリプトンを使用するKrF露光装置の計2種を展開。2種の露光装置のほか、さらなる微細化を目指したNIL(ナノインプリント)装置の開...
システムは高粘度フッ化クリプトン(KrF)や厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドの原液測定が可能。... 半導体などの製造現場では微細化、高集積化、多層構造化が進み、高粘度溶剤が使用されて...
