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記事検索結果
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実証実験では、半導体パッケージ用レジストの感光性樹脂の原料となる最適なポリマーの発見に成功しており、樹脂設計や複合材料など幅広い分野で活用できるとみる。
併せて、静岡県吉田町と韓国・平沢(ピョンテク)の生産拠点でEUVレジストやEUV現像液の生産・品質評価設備を増強。... 同社によると、EUVレジストやEUV現像液の市場は年率約2割で...
研究グループは、3ナノメートル(ナノは10億分の1)以下の空間分解能を持つレーザー励起光電子顕微鏡を使い、レジストに描画された「潜像」を高速に検査できることを示した。現在、検査に使われ...
23年に買収したカナダの半導体用レジスト樹脂メーカーは、生産拠点戦略における橋頭堡(ほ)でもある。
次世代極端紫外線(EUV)露光機に対応するレジストを開発し、トップランナーを目指す」 ―石油化学関連は環境負荷低減技術に舵を切る方針です。
住友化学は次世代極端紫外線(EUV)露光装置向けフォトレジストを開発する。金属材料を使わず不純物が少ないのが特徴で、ナノメートル級(ナノは10億分の1...
現在主流のドライフィルムレジストを使用するセミアディティブプロセス(SAP)法では難しかった微細加工が可能になるという。
フォトレジスト分野でも、液浸ArF(フッ化アルゴン)レジストの新ラインや、先端の分析装置などをそろえる次世代分析開発センターを設けた。
三菱ケミカルが開発したディスプレー用レジスト材料などをソウルブレインHDの営業網を活用して提案しており、現在は同材料の売り上げが多くを占める。
富士フイルムも需要回復を見込み、5月下旬に先端半導体製造時のコスト減と省電力化に貢献する半導体材料「ナノインプリントレジスト」を発売する。同材料はウエハー上のレジストに回路パターンをハンコのように押し...
GRRMによる化学反応の研究は用途が広く、例えば半導体ウエハーに塗布して微細なパターンを形成するレジスト材料の分子シミュレーションなどにも用いられている。
その後もフォトマスクブランクス、フッ化アルゴン(ArF)レジスト、多層膜材料、極端紫外線(EUV)レジストなどを手がけた。
JSRは同材料のほかレジストをはじめとする複数の実装材料を手がけており、多様化する後工程領域の要求にトータルで応える。
JSRは同材料のほかレジストをはじめとする複数の実装材料を手がけており、多様化する後工程領域の要求にトータルで応える。
電子材料向け溶剤では国内シェアトップで、主にレジストメーカー向けに販売している。... 半導体の集積度は高まり配線の多層化が進んでいるため、レジストは何度も使う必要がある。
