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アルバック・東工大が研究拠点 真空装置を高性能化 （2021/9/23 総合３）
アルバックと東京工業大学は22日、「アルバック先進技術協働研究拠点」を同大の大岡山キャンパス(東京都目黒区)内に設置したと発表した。プラズマ計測技術、人工知能(AI&...
