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東芝、微少な欠陥自動判別 光学検査技術を開発 （2022/8/1 電機・電子部品・情報・通信）
東芝は生産ラインで搬送中の製品表面にある1マイクロメートル(マイクロは100万分の1)程度の微小な欠陥をリアルタイムに判別する光学検査技術を開発した。製品表面の傷などに反射した光を光学...
スミックス、結晶欠陥を15秒で検出するウエハー検査装置開発 （2010/12/8）
ナノインプリント用の型を検査する「同REタイプ」も同時発売する。... ウエハー量産時の全数検査時間を短縮できる。... マクロ光学検査技術を利用し、加工対象物(ワーク)からの散乱光や...
