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リンテック、EUVペリクルのサンプル提供開始 半導体微細化に貢献 （2024/7/12 総合１）
数社に初期サンプルを出し、今後フィードバックをもらいながら2025年度の量産開始を目指す。... リンテックは米国テキサス州の研究開発拠点「ナノサイエンス&テクノロジーセンター」で作ったフルサ...
富士通マイクロエレなど、米社から回路直描を効率化する技術導入 （2008/10/10）
新技術採用により、スループットを現在の0・1―0・5枚から0・5―3枚に引き上げ、LSIの試作や初期サンプル、限定少量生産向けに提供していく。
