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半導体洗浄液の汚染状態、島津が短時間測定技術 20年実用化へ （2018/7/6 機械・航空機１）
【京都】島津製作所は高価な半導体ウエハー洗浄液や、工場廃液の汚染状態を短時間で測定する新技術を開発した。同洗浄液は約12時間など一定の使用時間を目安に交換しているが、製造コストや環境負荷の低減に向け、...
