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フジキン、半導体ガス濃度計を開発 リアルタイムで計測 （2024/6/13 総合１）
【東大阪】フジキン(大阪市北区、田中久士社長)は徳島大学と共同で、半導体製造プロセスガスをリアルタイムに計測できる濃度計「紫外線(UV)吸収式高温濃...
