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基板上でガリウムなどの有機金属と反応し、GaNの結晶が成長する。

有機金属気相エピタキシャル成長(MOVPE)法などでナノワイヤを結晶成長させ、異種材料を均一に並べる集積技術に強みを持つ。

有機金属気相エピタキシャル成長(MOVPE)法により、窒化アルミの基板上にpn接合ダイオードを作製。

そこで私たちは、もともと化合物半導体の分野で発展してきた薄膜成長法である「有機金属化学気相成長法」を2次元物質に応用することにした。... これまでに前述のグラフェンのほかに遷移金属ダイカルコゲナイド...

東京農工大学の熊谷義直教授らは大陽日酸と共同で、次世代パワー半導体向け材料として期待される高純度のβ型酸化ガリウム結晶の高速成長を、有機金属気相エピタキシャル成長(MOVP...

次世代材料では最先端の極端紫外線(EUV)露光に対応したフォトレジスト用ポリマーや「有機金属プリカーサー」などを開発している。... EUVレジスト用ポリマーや有機金属プリカーサー、パ...

東京工業大学の田中裕也助教と韓国高麗大学のユンヒョジェ教授らは、有機金属錯体で熱電変換膜を作製した。... 金電極表面にルテニウムとテトラホスフィンの有機金属錯体で膜を作り、ガリウ...

ナイトライドは有機金属化学気相成長(MOCVD)装置でサファイア基板上に成長させたInGaN系R、G、B、UVのマイクロLEDチップのサンプルキットを2023年1月から供給する。

室内の光では変化しないが、赤色のパルスレーザーが当たった場合に分子内の構造の一部が切れ、がんの薬剤として働く金属複合体を作製。... 赤色の光を吸収する環状化合物「フタロシアニン」にアルキル基を持つ有...

魁半導体、プラズマCVD新技術 成膜効率・安全性を向上 (2022/9/20 電機・電子部品・情報・通信)

有機金属系液体の気化、プラズマ化までの状態変化をチャンバー(反応容器)内で完結し、基板に薄膜形成できる。... 有機金属系のガスは取り扱いが難しく、危険。... このため、複数の有機金...

VACUUM2021真空展/根強い半導体需要 薄膜形成・圧力見える化 (2021/12/2 機械・ロボット・航空機1)

特に、成膜装置などに有機金属などのガスを供給するシステムで利用。

そして金属触媒の存在下でCO2、アミン、テトラアルキルオルトシリケート(TROS)からポリウレタンの原料であるカルバメートを合成する手法を開発した。 ......

【2000℃以上】 東洋炭素はシリコンや炭化ケイ素(SiC)単結晶製造工程向けのほか、ウエハー上に窒化ガリウム(GaN)層を製膜する際に使用する「MO...

ニッケルと硫黄を含む有機金属化合物を水中に細かく分散し、エチレングリコールを添加剤とする独自手法で、マイナス型の素子であるn型熱電フィルムで従来の1・5倍の性能を実現。... ニッケルと硫黄が結合した...

同技術は、有機金属塩と安定剤を混合した原料を基板に塗り、強い白色光を当てて酸化チタン薄膜を作る。

【東大阪】フジキン(大阪市北区、野島新也社長、06・6372・7141)は、半導体の製造に必要な有機金属ガスの流量を業界最高水準の精度プラスマイナス3%以下に制御できるバルブを...

三菱ケミカル、米社を買収 ハイブリッドケミカル技術生かす (2020/5/4 素材・ヘルスケア・建設・生活・環境・エネルギー)

ジェレストは無機化合物と有機化合物を組み合わせる技術を得意とし、コンタクトレンズ原料や抗菌剤、半導体材料などを展開する。 ... シリコン系化合物や特殊アクリレート、有機金属化合物な...

3つの研究成果 【正方形の有機金属分子】 藤田氏の研究成果の「原点」とも言えるのが、90年に発表した「自己集合による正方形の有機金属分子の合成」だ。 ...

その後、有機金属成長法(MOVPE)を用いてAlNを再成長させ、その上に窒化物系半導体(AlGaN=窒化アルミニウムガリウム)を結晶成長させると高品質なAlGa...

鉄系の有機金属錯体を使い、溶液中での反応だけで容易に触媒電極を作れる。... 燃料電池や金属空気電池はエネルギー密度が高く、次世代電池として期待される。... 研究グループは、顔料などに使われている鉄...

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