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技術で未来拓く・産総研の挑戦(121)窒化物圧電薄膜 （2020/4/16 科学技術・大学）
材料探索・成膜で性能向上 【熾烈な開発競争】 窒化物圧電薄膜はウルツ鉱構造を持ち、配向させた薄膜は圧電性を示す。... また、窒化物圧電薄膜の配向性と極性の制御技術...
