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最大膜厚10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)と厚膜化が可能で基材の長寿命化が図れる。 ... DLCコーティングは同部を中心に、成膜装置がある長野工場&#...
キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、中島卓実社長)は、製造するデバイスに応じて、必要な成膜工程のモジュールを柔軟に組み合わせられる成膜装置の新製品「Adastra」の販...
最大膜厚10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)と厚膜の成膜が可能で基材の長寿命化が図れる。 低温成膜技術によりステンレスやアルミニウムなどの金属をはじめ、樹...
芝浦メカトロニクスは電子部品用スパッタリング装置をパネルで紹介。... さらに、同社担当者は「昨今は人手不足が課題なので、自動化ラインへの装置のドッキングなども提案したい」と意気込む。 ...
2025年夏までに、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)などのR&D用成膜装置3台を導入する。... 24年1月に導入した装置2台を含め、DLCやDCなど高度な成膜装置5台を同...
次世代ロジック、準備着々 半導体市況に薄日が差す中、KOKUSAI ELECTRICが成膜装置などの半導体製造装置で攻勢をかけている。... 「炭化ケイ素(SiC&#...
KOKUSAI ELECTRICは成膜装置など半導体製造装置のデモ評価拠点を米国に開設する検討に入った。... 現在、米国向け製造装置の開発は富山県の拠点で対応している。....
成膜装置のイオン生成源として年間販売10台以上、売上高1億円の事業に育てる。 ... 用途はフィルム部材を改質する前に付着物を取り除く加工や、切削工具の古い金属膜を除去して再被膜する...
油回転ポンプをはじめとするコンポーネントのほか、乾燥や熱処理、成膜、脱泡などあらゆる用途をカバーする特注真空装置を手がける。真空乾燥・ベーキング装置「DHシリーズ=写真」は到達圧力0・0001...
メーカーや装置種の技術世代によって違いがあるため一概には言えないが、この10年間ほどで主要装置の価格はおおむね1・5―2倍に上がっている。 ... 独創的な研究には、研究者が自ら開発...
同モニターを搭載したオゾン発生装置は2025年以降に販売を開始し、東京エレクトロンの成膜装置と合わせて使ってもらう。 半導体製造では、成膜工程で発生するオゾンガスの濃度などをモニタリ...
同社の半導体向け製品は、成膜装置で使われる反応管や洗浄装置に用いるボックスなど多岐にわたる。赤錆社長は「成膜工程やウェット洗浄工程に使われる石英製品であれば、基本的に自社で製造できる」と胸を張る。&#...
【名古屋】東海光学(愛知県岡崎市、古沢宏和社長)は、超低反射防止膜(WAB―AR)を開発した。... 東海光学による膜の受託加工のほか、成膜装置メーカーのシンクロン&#...
ニッパツは2026年度までに、半導体製造装置部品を生産する宮田工場(長野県宮田村)で追加の生産能力増強に着手する。... 半導体製造装置部品を含む産業機器事業は23年3月期売上高が前期...
今回の技術でフッ素樹脂フィルムを処理し、銅を成膜したところ、1センチメートル当たり15・35ニュートン(未処理の場合0ニュートン)の平均剥離強度を確認した。... ロック技研工業はロー...
太陽電池や成膜に限らず幅広い条件出しに提案する。 成膜技術の触媒化学気相堆積法の条件出しにベイズ最適化を適用した。... そこで成膜装置では実現できない条件を排除した。 &#...
主力の半導体製造装置(SPE)事業での販売増加による操業度向上が利益を押し上げ、営業利益は23年10月公表値比10億円増の885億円に、当期利益を同40億円増の640億円に引き上げた。...
数十枚のウエハー上に薄い膜をつくる「バッチ式」の成膜装置や、成膜後に膜中の不純物を取り除き膜質を改善させるトリートメント装置で世界トップレベルのシェアを占める。... そうした新工程で当社の成膜装置や...
今後は市場の伸びが期待できる枚葉式に対応した装置開発にも注力する。... 同装置は金額ベースでエッチング装置全体に占める割合が大きい。... 洗浄装置でも生産性や加工性が高く、使用する水の量などを少な...
