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トクヤマ、次世代半導体の薬液品質計測 台湾ITRIと開発 （2021/3/23 素材・医療・ヘルスケア）
トクヤマは台湾の工業技術研究院(ITRI)と、次世代半導体の製造プロセスで用いる薬液の品質計測技術に関する共同開発を始めた。薬液中の不純物を迅速に検出することで、ウエハーが汚染するのを...
