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半導体マスク欠陥、高感度検出 レーザーテックが高輝度EUVプラズマ光源開発 （2023/10/11 電機・電子部品・情報・通信）
URASHIMAは小出力のレーザー照射1回だけで発光するため「従来の光源に比べ消費電力は約3分の1」(西沢正泰技術五部スタッフエンジニア)。
